半導體物性

下列何者最接近矽晶體的晶格常數?

  1. A約0.543 nm
  2. B約0.054 nm
  3. C約5.43 nm
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正確答案:A. 約0.543 nm

矽為鑽石結構,立方體單位晶胞的邊長(晶格常數)約為0.543 nm(5.43 Å)。單位晶胞含有8個原子,最近鄰原子間距約為0.235 nm。Ge約為0.566 nm,約大4%,在矽上成長SiGe時,會因晶格不匹配而產生壓縮應變。這種應變能提高電洞的遷移率,因此被用於pMOS的源極、汲極及通道。

  • A. 正確。晶格常數約為0.543 nm。
  • B. 約0.054 nm比原子的大小還小,小了1個數量級。
  • C. 約5.43 nm大了1個數量級。5.43是以Å為單位表示時的數值。
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