MOSFET

在以高頻量測p型基板MOS電容器所得的C-V特性中,對閘極施加較大的正電壓使其強反轉時,電容會如何?

  1. A幾乎為最小值而固定
  2. B變為無限大
  3. C成為等於閘極絕緣膜電容Cox的最大值
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正確答案:A. 幾乎為最小值而固定

在高頻(通常為1 MHz)下,反轉層中少數載子的產生跟不上訊號的變化,反轉層無法對交流電容有所貢獻。因此電容由Cox與最大空乏層寬度的空乏層電容串聯決定,成為幾乎固定的最小值。在低頻(準靜態)下,反轉層有回應,電容會回到Cox。從最小電容與最大電容的比值可求出基板的雜質濃度,用於評估MOS結構。

  • A. 正確。高頻下反轉層無法跟隨,因此在最小值固定。
  • B. 電容不會變為無限大。
  • C. 等於Cox的是累積狀態,或在低頻下反轉時。
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