MOSFET

p型基板のMOSキャパシタを高周波で測定したC-V特性で、ゲートに大きな正の電圧を加えて強反転させたときの容量はどうなるか。

  1. Aほぼ最小値で一定になる
  2. B無限大になる
  3. Cゲート絶縁膜の容量Coxに等しい最大値になる
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正解:A. ほぼ最小値で一定になる

高周波では、反転層の少数キャリア(電子)の生成が信号の変化に追いつかないため、反転層は容量に寄与できません。そのため容量は、Coxと最大空乏層幅の空乏層容量の直列で決まるほぼ最小値で一定になります。低周波では反転層が応答し、容量はCoxまで戻ります。

  • A. 正しい。高周波では反転層が追従できず、最小値で一定になります。
  • B. 容量が無限大になることはありません。
  • C. Coxに等しくなるのは、蓄積状態か低周波で反転させたときです。
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