MOSFET

關於MOS結構的平帶電壓的說明,下列何者正確?

  1. A通道強反轉時的閘極電壓
  2. B閘極絕緣膜崩潰時的閘極電壓
  3. C半導體表面能帶不彎曲(變平)時的閘極電壓
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正確答案:C. 半導體表面能帶不彎曲(變平)時的閘極電壓

平帶電壓VFB是半導體表面的能帶不彎曲而變平時的閘極電壓,由 VFB = φms − Qox/Cox(功函數差,以及絕緣膜中、界面的電荷)決定。臨界電壓是在VFB上加上反轉所需的2φF與空乏層電荷所對應的電壓。從C-V量測觀察VFB的偏移,就能評估絕緣膜中的電荷與污染(Na離子等),是製程管理的重要指標。

  • A. 強反轉時的電壓是臨界電壓。
  • B. 絕緣膜崩潰的電壓是絕緣崩潰電壓。
  • C. 正確。是表面能帶變平時的閘極電壓。
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