量測與分析
在使用光的缺陷檢測中，異物越小檢測越會急遽變得困難，其正確的理由是下列何者？
- A因為遠小於波長的粒子之散射光強度，大約與粒徑的6次方成正比而急劇變弱
- B因為小粒子不會反射光
- C因為小粒子全都是透明的
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正確答案：A. 因為遠小於波長的粒子之散射光強度，大約與粒徑的6次方成正比而急劇變弱
光被遠小於波長的粒子散射（瑞利散射）的強度，大約與粒徑的6次方成正比。粒徑減半時散射光約變為1/64，會被表面粗糙度或圖案所造成的背景雜訊淹沒。因此要使用短波長的光或強光源，並在光學系統上設法減少雜訊，對於更小的缺陷則搭配電子束檢測。
- A. 正確。散射光大約與粒徑的6次方成正比而變弱。
- B. 小粒子同樣會散射光，只是其強度會急遽變弱。
- C. 粒子並不會因此變成透明。