검사에서 발견된 결함을 SEM으로 촬영하고, 그 이미지로부터 결함의 종류를 자동으로 분류하는 기능은?

정답: B. 자동 결함 분류(ADC)

결함 검사 장비는 웨이퍼 한 장에서 수천 개의 결함을 검출하기도 하므로, 각각의 원인을 조사하려면 종류별 분류가 필요합니다. 자동 결함 분류(ADC)는 리뷰 SEM 이미지로부터 이물, 패턴 결함, 스크래치 등으로 자동 분류하여 원인 공정이나 장비의 특정을 앞당깁니다. 최근에는 머신러닝도 활용되고 있습니다. ATPG는 테스트 패턴 생성, APC는 공정 자동 제어입니다.