웨이퍼의 캐리어 라이프타임을 비접촉으로 측정하여 금속 오염 등을 평가하는 방법은?

정답: A. 마이크로파 광도전 감쇠법(μ-PCD)

μ-PCD에서는 웨이퍼에 광 펄스를 쏘아 캐리어를 발생시키고, 그것이 재결합하여 줄어드는 모습을 마이크로파 반사율의 변화로 측정합니다. 철 등의 금속 오염은 재결합 중심이 되어 라이프타임을 짧게 하므로, 열처리로의 오염 감시나 웨이퍼 품질 평가에 사용됩니다. 전극을 붙이지 않고 측정할 수 있어 웨이퍼 전면의 분포도도 그릴 수 있습니다. SIMS와 XRD로는 라이프타임을 측정할 수 없습니다.