微影
旋轉塗佈光阻後，以溶劑去除晶圓外圍隆起之光阻的處理稱為什麼？
- A灰化（ashing）
- B邊緣珠狀物去除（edge bead removal）
- C曝光後烘烤
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正確答案：B. 邊緣珠狀物去除（edge bead removal）
在旋轉塗佈中，晶圓外圍的光阻會因表面張力而厚厚地隆起（邊緣珠狀物，edge bead）。若殘留下來，會在搬運時剝落成為微粒，弄髒設備的夾盤或曝光機的載台，也會使外圍的對焦失準，因此要對外圍數mm噴灑溶劑將其去除（EBR）。此外，也會進行清洗繞到背面之光阻的背面清洗（backside rinse）。
- A. 灰化是以電漿等去除整層光阻的處理。
- B. 正確。是去除外圍隆起光阻的處理。
- C. 曝光後烘烤是曝光後進行的加熱處理。