微影
EUV曝光機的光源產生13.5 nm光的方法，下列何者正確？
- A水銀燈的放電
- B將ArF準分子雷射的光進行波長轉換
- C對錫的微小液滴照射強力雷射使其成為電漿
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正確答案：C. 對錫的微小液滴照射強力雷射使其成為電漿
在EUV光源中，是對每秒約5萬個、直徑約30 µm的錫液滴，先照射弱雷射使其攤平，再照射高功率的二氧化碳雷射，使其成為數十萬℃的電漿，並以多層膜反射鏡收集由此發出的13.5 nm光（LPP方式）。能穩定獲得250 W以上的輸出，是邁向量產的關鍵。濺散的錫會弄髒聚光鏡，則以氫氣來防止。
- A. 水銀燈是i線等的光源。
- B. 不是將ArF的光轉換來產生13.5 nm的方式。
- C. 正確。以雷射使錫液滴成為電漿。