포토마스크를 만들 때 사용하는, 석영 유리 기판에 차광막 등을 미리 성막한 재료를 무엇이라고 하는가?

정답: A. 마스크 블랭크스

마스크 블랭크스는 저결함이고 평탄도가 높은 석영 유리 기판(6인치 각, 두께 약 6 mm)에 크로뮴이나 MoSi 등의 차광·위상 시프트막(EUV용에서는 다층막과 흡수막)을 성막하고 레지스트를 도포한 상태의 재료입니다. 여기에 전자빔으로 패턴을 그리고 식각하여 포토마스크를 만듭니다. 특히 EUV용 블랭크스는 결함이 적어야 한다는 요구가 엄격하며, HOYA 등 일본 기업이 큰 점유율을 가지고 있습니다.

• A. 올바릅니다. 마스크의 원재료입니다.
• B. 웨이퍼는 디바이스를 만드는 실리콘 원판입니다.
• C. 펠릿은 알갱이 모양으로 성형한 재료입니다.