微影
作為微縮指標使用的「半間距（half pitch）」，其意義下列何者正確？
- A晶片一邊長度的一半
- B晶圓直徑的一半
- C重複圖案中線與間隔合計之週期（間距）的一半
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正確答案：C. 重複圖案中線與間隔合計之週期（間距）的一半
在線與間隔重複出現的圖案中，一條線加上一個間隔的長度是間距（pitch），其一半就是半間距。若線寬與間隔相等，半間距就等於線寬。過去DRAM的半間距曾作為世代的名稱（例如90 nm世代）。解析極限原本是由間距決定，所以目前邏輯製程的微縮，是以最小的配線間距或閘極間距（CPP）來比較。
- A. 與晶片的大小無關。
- B. 與晶圓的大小無關。
- C. 正確。是重複圖案之週期的一半。