微影
曝光時，為了將下一層圖案正確疊在前一道製程所做出的圖案上，而預先設置在晶圓上的標記稱為什麼？
- A對準標記
- B缺口（notch）
- C切割道（scribe）
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正確答案：A. 對準標記
對準標記是預先製作在晶圓上晶片之外側（切割道上等），用於對位的光柵等圖案。曝光機會以光的繞射等方式偵測它，修正晶圓的位置、旋轉與伸縮，甚至晶圓內的局部變形，將下一層正確疊在前一層的圖案上。單片晶圓有時會量測數十處標記，標記本身也會設計成不會因加工而損壞。
- A. 正確。是用於對位的標記。
- B. 缺口是標示晶圓結晶方位、位於外圍的切口。
- C. 切割道是用來分隔晶片的線（區域），不是標記本身。