微影

利用嵌段共聚物會自然形成規則的微細圖案這項性質的圖案形成技術是下列何者?

  1. AOPC
  2. B導向式自組裝(DSA)
  3. C原子層蝕刻
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正確答案:B. 導向式自組裝(DSA)

嵌段共聚物是由性質不同的兩種高分子(例如聚苯乙烯與PMMA)連接而成的材料,它們會彼此試圖分離,自然形成由分子長度決定、數nm~數十nm的規則條紋或點狀圖樣。DSA是以微影製作的導引圖案來控制排列的位置與方向,製作出比解析極限更細的圖案的技術。它有可能以低成本推進微縮,另一方面,缺陷的減少仍是量產的課題。

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