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노광량과 포커스를 바꾸어도 패턴의 치수가 허용 범위 안에 들어오는 조건의 범위를 무엇이라고 하는가?

  1. A공정 윈도
  2. B오버레이
  3. C라인 엣지 러프니스
정답과 해설 보기

정답: A. 공정 윈도

공정 윈도는 노광량과 포커스를 바꾸어도 패턴의 치수가 허용 범위(예: 목표의 ±10%)에 들어오는 범위이며, 세로축에 노광량, 가로축에 포커스를 둔 그림(ED-window)으로 나타냅니다. 양산에서는 장비의 편차, 웨이퍼의 요철, 레지스트 두께의 변화로 노광량과 포커스가 변동하기 때문에 윈도가 넓을수록 안정적으로 제조할 수 있습니다. OPC나 조명 조건의 최적화는 주로 이것을 넓히기 위해 이루어집니다.

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