隨著導線間距變窄而日益重要的，導線間絕緣膜隨時間發生的絕緣崩潰稱為什麼？

正確答案：A. 導線間TDDB（BEOL TDDB）

導線間距窄到十幾nm時，即使只有0.7 V左右的電壓，施加在導線間絕緣膜上的電場也會強到數百kV/cm以上，長時間使用可能發生絕緣崩潰。尤其Low-k膜的絕緣耐受性比傳統氧化膜低，Cu離子的擴散與CMP後的界面損傷也會有影響。因此導線間TDDB是導線可靠度的重要評估項目，因導孔位置偏移而局部間距變窄的部位也受到嚴格管控。