填充在導線與導線之間的層間絕緣膜，其基本作用為下列何者？

正確答案：C. 使導線之間電性絕緣，防止短路

層間絕緣膜使同一層中相鄰的導線，以及上下層的導線之間電性絕緣，防止短路。同時它決定了導線間的電容，因此開始使用介電常數低的材料（Low-k）。此外還必須同時滿足能承受CMP的機械強度、防止Cu擴散、散熱、長期絕緣耐受性等許多性質，是材料開發相當困難的領域。

• A. 絕緣膜並非用來降低導線電阻。
• B. 臨界電壓由電晶體的閘極結構等決定。
• C. 正確。使導線彼此絕緣。