LSI導線材料所需的主要性質組合，下列何者正確？

正確答案：B. 電阻低、不易因電流而劣化（電遷移）、容易加工

導線材料需要具備：為減少訊號延遲與功率損失而有的低電阻、在MA/cm²等級的大電流密度下也不易劣化的可靠度、不易擴散進絕緣膜或矽、容易加工並填入微細圖案，以及能承受製程溫度。在這些條件的權衡下，材料從Al轉為Cu，在極微細的部分更轉為Co、Ru、Mo等。

• A. 不導電的材料無法作為導線。
• B. 正確。需要低電阻、可靠度與加工性。
• C. 導線並不要求透光。