配線製程

電阻率2 µΩ·cm的導線,長度1 mm、寬度與厚度各為100 nm時,電阻約為多少?

  1. A約2 Ω
  2. B約2 kΩ
  3. C約2 MΩ
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正確答案:B. 約2 kΩ

電阻為R = ρL/(W × T),由ρ = 2×10⁻⁸ Ω·m、L = 1×10⁻³ m、W × T = 1×10⁻¹⁴ m²,得R = 2000 Ω(約2 kΩ)。即使只有1 mm這麼短的距離,剖面為100 nm見方的導線也會有這麼大的電阻,與導線電容(1 mm約0.2 pF)組合後,RC延遲達數百ps。因此長導線會使用上層的粗導線,或插入中繼器。

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