위아래 배선층의 위치 맞춤 어긋남에 강하게 하기 위해 비아를 배선 홈에 맞추어 자기 정렬적으로 형성하는 기술은?

정답: B. 자기 정렬 비아(셀프 얼라인드 비아)

배선 피치가 20 nm대가 되면 비아 위치가 수 nm만 어긋나도 이웃한 배선과 단락되거나 간격이 좁아져 절연 파괴가 일어납니다. 자기 정렬 비아에서는 배선 홈을 가공한 하드 마스크를 남겨 두거나 배선 윗면에 재료가 다른 층을 두어서 비아 식각이 목적한 배선의 폭 안으로 제한되게 하고, 위치 어긋남이 있어도 이웃 배선으로 이어지지 않도록 합니다.