配線製程
形成於晶片最上層,保護內部電路免受水氣、污染與機械損傷的膜稱為什麼?
- A閘極氧化膜
- B鈍化膜(passivation film)
- C埋入式氧化膜
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正確答案:B. 鈍化膜(passivation film)
鈍化膜是覆蓋晶片表面的保護膜,使用不易讓水氣與鈉等離子穿透的氮化矽膜(厚度數百nm~1 µm左右)或氧化膜,再加上緩和應力的聚醯亞胺等樹脂膜。它能保護電路免受水氣與離子侵入以及組裝時的損傷,是通過高溫高濕可靠度試驗不可或缺的膜層。僅在要進行打線接合或形成凸塊的電極焊墊部分開口。