先進電晶體(FinFET與GAA)

作為 pMOS 的通道材料,SiGe 或鍺被研究、採用以取代矽,其原因為何?

  1. A因為電洞的遷移率高
  2. B因為電子的遷移率非常低
  3. C因為材料價格便宜
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正確答案:A. 因為電洞的遷移率高

鍺與 SiGe 的電洞有效質量小,電洞遷移率比矽高,因此能增大 pMOS 的驅動電流。SiGe 的性質接近矽,容易整合到既有製程,而且因能帶位置偏移,也有助於搭配金屬閘極調整臨界電壓,所以在先進製程中被採用為 pMOS 的通道。Ge 100% 的通道也在研究中。

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