Cu配線をドライエッチングで直接加工するのが難しい理由として正しいものはどれか。

正解：C. Cuのハロゲン化物は揮発しにくく、反応生成物を取り除けないため

アルミニウムは塩素と反応して揮発性の塩化アルミニウムになるためドライエッチングできますが、銅の塩化物などは揮発しにくく、表面に残ってしまいます。そのため、Cu配線はエッチングを使わずに、溝に埋め込んでCMPで削るダマシン法でつくられます。