磊晶成長
將GaAs這類具有極性的化合物半導體成長於非極性的矽基板上時,容易產生的、晶體中Ga與As排列反轉的區域之邊界,稱為什麼?
- A反相邊界(APB)
- B雙晶邊界
- C晶界
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正確答案:A. 反相邊界(APB)
將GaAs這類具有極性的化合物成長於非極性的矽上時,表面1個原子層階差的兩側會成長出Ga與As位置互換的區域,其邊界便形成反相邊界(APB)。APB中存在Ga-Ga或As-As的錯誤鍵結,成為電性缺陷。對策包括將具有偏角的基板熱處理,使其對齊為2個原子層的階差,以及在溝槽中成長以將APB侷限住等。
- A. 正確。是原子排列反轉之區域的邊界。
- B. 雙晶邊界是呈鏡面對稱關係的晶體之間的邊界。
- C. 晶界是晶體方向不同的晶粒之間的邊界。