磊晶成長
在以石墨烯等二維材料覆蓋的基板上成長晶體,並將成長的膜從基板剝離,使基板得以重複使用,這種處於研究階段的技術為下列何者?
- A遠端磊晶
- B熱擴散
- C陽極接合
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正確答案:A. 遠端磊晶
在遠端磊晶中,以1~2個原子層的石墨烯等覆蓋基板,並在其上成長晶體。石墨烯夠薄,基板原子的電位會滲出,基板的晶體資訊得以傳遞而得到單晶;另一方面,膜與基板之間不形成化學鍵,因此可用膠帶等輕易剝離成長的膜,並重複使用基板。可望應用於昂貴的GaAs或SiC基板的再利用,以及可彎曲的元件。
- A. 正確。是隔著二維材料成長,使膜可被剝離的技術。
- B. 熱擴散是以熱使雜質擴散的製程。
- C. 陽極接合是以電壓與熱接合矽與玻璃的方法。