에피택셜 성장
그래핀 등의 2차원 재료로 덮은 기판 위에 결정을 성장시키고, 성장한 막을 기판에서 떼어 내 기판을 재사용할 수 있게 하는 연구 단계의 기술은?
- A리모트 에피택시
- B열확산
- C양극 접합
정답과 해설 보기
정답: A. 리모트 에피택시
리모트 에피택시에서는 기판을 1~2원자층의 그래핀 등으로 덮고 그 위에 결정을 성장시킵니다. 그래핀은 충분히 얇기 때문에 기판 원자의 전위가 스며 나와 기판의 결정 정보가 전달되어 단결정이 얻어지는 한편, 막과 기판은 화학 결합하지 않으므로 성장한 막을 테이프 등으로 쉽게 떼어 내 기판을 재사용할 수 있습니다. 고가의 GaAs나 SiC 기판의 재사용이나 구부릴 수 있는 소자로의 응용이 기대됩니다.
- A. 맞습니다. 2차원 재료를 매개로 성장시켜 막을 떼어 낼 수 있게 하는 기술입니다.
- B. 열확산은 불순물을 열로 확산시키는 공정입니다.
- C. 양극 접합은 실리콘과 유리를 전압과 열로 접합하는 방법입니다.