磊晶成長

SiC功率元件主要使用的晶體多型(polytype)為下列何者?

  1. A4H-SiC
  2. B3C-SiC
  3. C15R-SiC
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正確答案:A. 4H-SiC

SiC有200種以上的晶體多型,但功率元件主要使用4H-SiC。這是因為其能隙約為3.26 eV而較大、電子遷移率高達約1000 cm²/V·s,且方向性的差異(異向性)小。6H-SiC的遷移率異向性大,3C-SiC的能隙約為2.4 eV而偏小。高品質基板與磊晶成長技術已經確立,也是原因之一。

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