下列何者是CMP研磨液中研磨粒子大小的正確參考值？

正確答案：C. 數十至一百數十nm左右

CMP研磨液的研磨粒子是數十至一百數十nm左右的非常細微的粒子。即使每1 mL液體中只混入數顆超過1 µm的粗大粒子，也會造成刮痕，因此不只管理粒徑分布，也嚴格管理粗大粒子的數量。粒子的形狀（球形或不規則形）與硬度也會影響研磨速率與是否容易刮傷，近年也持續開發較軟的有機粒子等。