在鎢的CMP中，於研磨液加入雙氧水等氧化劑的原因，下列何者正確？

正確答案：A. 為了將鎢的表面轉變為容易研磨的氧化物

鎢是堅硬的金屬，直接以機械方式研磨很困難。以雙氧水或鐵鹽等氧化劑將表面轉變為較軟的氧化鎢，再以研磨粒子將其去除，如此反覆進行研磨。研磨速率在很大程度上取決於氧化劑的濃度，是能清楚看出CMP中「化學」部分作用的例子。另一方面，也需要設法抑制凹處的氧化與腐蝕。