近年的清洗步驟中，將藥液稀釋使用或使用功能水的主要目的為下列何者？

正確答案：A. 減少藥液的使用量與對環境的負荷

以往的清洗大量使用高濃度藥液，但現在正推動將藥液稀釋數十至數百倍，或使用臭氧水、氫水等功能水及電解水，在減少藥液與超純水的使用量及廢液的同時，仍獲得所需的清洗效果。半導體工廠使用大量的水與藥液，因此這不僅可降低成本，在減輕環境負荷方面也是重要的做法。