미세 구조의 붕괴를 막기 위해 액체를 사용하지 않고 표면의 자연 산화막 등을 제거하는 방법은?

정답: B. 기상 가스나 라디칼을 이용한 건식 세정

높고 가는 패턴에서는 세정액이 마를 때의 표면장력 때문에 패턴이 서로 끌려가 쓰러지는 경우가 있습니다. 불화수소 증기, NF3와 NH3 플라즈마로 생성한 라디칼(SiCoNi 처리) 등을 사용하는 기상(건식) 세정은 액체를 쓰지 않으므로 패턴 붕괴 우려가 없고, 증착 장비와 진공으로 연결하여 처리 직후 산화시키지 않고 다음 공정으로 진행할 수도 있습니다. 콘택트 바닥의 산화막 제거 등에 사용됩니다.