ネッキングとは
ねっきんぐ
CZ法の引き上げの初めに、種結晶の直後を細く絞って成長させる工程。種結晶を融液につけたときの熱衝撃で入った転位を結晶の外へ抜き、無転位の結晶にする。
この用語の分野: シリコンウエハ
「ネッキング」が出てくる問題(1問)
関連する用語
CZ法(チョクラルスキー法) インゴット ウエハのノッチ SOIウエハ FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) 結晶方位 ゲッタリング サーマルドナー 酸素析出物(BMD)
ねっきんぐ
CZ法の引き上げの初めに、種結晶の直後を細く絞って成長させる工程。種結晶を融液につけたときの熱衝撃で入った転位を結晶の外へ抜き、無転位の結晶にする。
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CZ法(チョクラルスキー法) インゴット ウエハのノッチ SOIウエハ FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) 結晶方位 ゲッタリング サーマルドナー 酸素析出物(BMD)