シリコンウエハ

CZ法の引き上げの初めに、種結晶の直後を細く絞って成長させる(ネッキング)目的はどれか。

  1. A種結晶を節約するため
  2. B酸素濃度を上げるため
  3. C種結晶を融液につけたときの熱衝撃で入った転位を結晶の外に抜き、無転位の結晶にするため
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正解:C. 種結晶を融液につけたときの熱衝撃で入った転位を結晶の外に抜き、無転位の結晶にするため

種結晶を高温の融液につけると熱衝撃で転位が入ります。直径を数mm程度に細く絞って成長させると、転位が結晶の表面に抜けていき、その後は無転位の単結晶を太く成長させられます。この方法はダッシュ法(ダッシュネッキング)と呼ばれます。

  • A. 種結晶の節約が目的ではありません。
  • B. 酸素濃度を調整する方法ではありません。
  • C. 正しい。転位を抜いて無転位の結晶にします。
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