ネッキング란?

ねっきんぐ

CZ法の引き上げの初めに、種結晶の直後を細く絞って成長させる工程。種結晶を融液につけたときの熱衝撃で入った転位を結晶の外へ抜き、無転位の結晶にする。

일본어 명칭: ネッキング

분야: 실리콘 웨이퍼

관련 용어

結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ

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