실리콘 웨이퍼
FZ법(플로팅 존법)으로 제작한 실리콘 단결정의 특징으로 올바른 것은?
- A대구경화가 가장 쉬워 300 mm 웨이퍼의 주류 제법이다
- B석영 도가니를 사용하지 않아 산소 등의 불순물이 적고 고저항 결정을 얻기 쉽다
- C다결정 실리콘을 녹이지 않고 단결정화한다
정답과 해설 보기
정답: B. 석영 도가니를 사용하지 않아 산소 등의 불순물이 적고 고저항 결정을 얻기 쉽다
FZ법은 다결정 실리콘 막대의 일부를 고주파 유도 가열로 띠 모양으로 녹이고, 그 용융대를 이동시켜 단결정화하는 방법입니다. 도가니를 쓰지 않으므로 산소 혼입이 적고, 불순물도 용융대에 모여 제거되기 때문에 고순도로 저항률 1000 Ω·cm 이상의 결정도 얻을 수 있습니다. 내압이 높은 파워 디바이스(IGBT 등)나 검출기에 사용되지만, 대구경화는 CZ법이 더 쉬우며 FZ법은 200 mm 정도가 한계입니다.