前工程を終えたウエハで、TEGのしきい値電圧やシート抵抗などを測り、工程が規格どおりにできたかを確認する検査を何と呼ぶか。

正解：A. WAT(ウエハアクセプタンステスト)/ パラメトリックテスト

WATは、前工程の完了後にTEGの電気的なパラメータ(しきい値電圧、オン電流、シート抵抗、コンタクト抵抗など)を測る検査です。規格を外れたウエハは後の工程に進めず、データは工程の監視や改善にも使われます。チップの機能を調べるテストとは目的が異なります。

• A. 正しい。工程の出来ばえをパラメータで確認する検査です。
• B. 最終テストはパッケージ後の製品の良否を調べる検査です。
• C. バーンインは初期不良を取り除くためのストレス試験です。