對完成前段製程的晶圓，量測TEG的臨界電壓或片電阻等，確認製程是否依規格完成的檢驗，稱為什麼？

正確答案：A. WAT（晶圓接受度測試）／參數測試

WAT是在前段製程完成後，量測TEG的電氣參數（臨界電壓、導通電流、片電阻、接觸電阻等）的檢驗。超出規格的晶圓不會進入後段製程，其資料也用於製程的監控與改善，以及元件模型的驗證。在晶圓代工廠，它也是將晶圓交付給客戶時的品質證明。其目的與檢查晶片功能的測試不同。

• A. 正確。是以參數確認製程成果的檢驗。
• B. 最終測試是檢查封裝後產品良否的檢驗。
• C. Burn-in是為了剔除早期不良的應力試驗。