ウエハ上のチップの間(スクライブライン)などに置かれ、トランジスタや抵抗などの特性を測ってプロセスを評価するための専用のパターンを何と呼ぶか。

正解：C. TEG(テストエレメントグループ)

TEGは、トランジスタ、抵抗、容量、配線のチェーンなど、プロセスの出来ばえを評価するための単純な構造の集まりです。スクライブラインなどに配置し、その電気的な特性を測ることで、工程が正しく行われたかを確認します。

• A. ダミーゲートは加工の均一性などのために置く機能のないゲートです。
• B. アライメントマークは露光の位置合わせ用の目印です。
• C. 正しい。プロセス評価用のテストパターンです。