전공정을 마친 웨이퍼에서 TEG의 문턱 전압이나 시트 저항 등을 측정하여, 공정이 규격대로 만들어졌는지 확인하는 검사를 무엇이라고 부릅니까?

정답: A. WAT(웨이퍼 억셉턴스 테스트) / 파라메트릭 테스트

WAT는 전공정 완료 후에 TEG의 전기적 파라미터(문턱 전압, 온 전류, 시트 저항, 콘택트 저항 등)를 측정하는 검사입니다. 규격을 벗어난 웨이퍼는 뒤 공정으로 보내지 않으며, 데이터는 공정의 감시와 개선, 디바이스 모델의 검증에도 사용됩니다. 파운드리에서는 웨이퍼를 고객에게 인도할 때의 품질 증명도 됩니다. 칩의 기능을 조사하는 테스트와는 목적이 다릅니다.

• A. 올바릅니다. 공정의 완성도를 파라미터로 확인하는 검사입니다.
• B. 최종 테스트는 패키지 후 제품의 양부를 조사하는 검사입니다.
• C. 번인은 초기 불량을 제거하기 위한 스트레스 시험입니다.