プローブカードの方式で、針をパッドに対して垂直に立てて並べる垂直型の主な利点はどれか。

正解：B. 多数のチップを同時に測定する多ピン・狭ピッチ化や、エリアに並んだパッドへの対応がしやすい

従来の片持ち梁(カンチレバー)型は、横から伸びた斜めの針でパッドに触れるため、チップの周辺に並んだパッドに向いていました。垂直型やMEMS型のプローブは、針を密に並べられるため、多ピンでパッドがチップ全面に並ぶ品種や、多数のチップの同時測定に向いています。

• A. 加熱の可否はプローバのチャックで決まります。
• B. 正しい。多ピン・狭ピッチやエリア配置に対応しやすい方式です。
• C. 垂直型は多数の針を並べられます。