テスト・検査
ウエハテストを続けると、プローブの針先にパッドのアルミニウムの削りくずなどが付着する。このとき定期的に行う処理はどれか。
- A研磨シートなどで針先をクリーニングする
- B針に油を塗る
- C針を折り曲げる
答えと解説を見る
正解:A. 研磨シートなどで針先をクリーニングする
針先に削りくずや酸化物が付着すると、接触抵抗が上がって正しく測定できず、良品を不良と誤判定する原因になります。そのため、一定数のチップを測定するごとに研磨シートなどで針先をこすってクリーニングし、接触を安定させます。
- A. 正しい。針先を定期的にクリーニングします。
- B. 油を塗ると接触不良や汚染の原因になります。
- C. 針を折り曲げると正しく接触できなくなります。