テスト・検査

ウエハテストを続けると、プローブの針先にパッドのアルミニウムの削りくずなどが付着する。このとき定期的に行う処理はどれか。

  1. A研磨シートなどで針先をクリーニングする
  2. B針に油を塗る
  3. C針を折り曲げる
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正解:A. 研磨シートなどで針先をクリーニングする

針先に削りくずや酸化物が付着すると、接触抵抗が上がって正しく測定できず、良品を不良と誤判定する原因になります。そのため、一定数のチップを測定するごとに研磨シートなどで針先をこすってクリーニングし、接触を安定させます。

  • A. 正しい。針先を定期的にクリーニングします。
  • B. 油を塗ると接触不良や汚染の原因になります。
  • C. 針を折り曲げると正しく接触できなくなります。
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