プローバで、ウエハを載せる台(チャック)の温度を高温や低温に制御できるようにする目的はどれか。

正解：B. 実際の使用温度の範囲でチップが規格を満たすかを、ウエハの段階で確認するため

チップの特性は温度によって変わり、高温でリークが増えたり、低温でタイミングが変わったりします。チャックの温度を制御して高温・低温でウエハテストを行うことで、パッケージする前に温度依存の不良を見つけ、組立のコストのむだを減らせます。

• A. 乾燥させるためではありません。
• B. 正しい。使用温度の範囲での良否をウエハの段階で確認します。
• C. 接着するためではありません。