信頼性

ドレイン近くの高電界で加速されたキャリアがゲート絶縁膜に注入され、トランジスタの特性が劣化する現象はどれか。

  1. ANBTI
  2. Bホットキャリア注入(HCI)
  3. Cラッチアップ
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正解:B. ホットキャリア注入(HCI)

チャネルを流れるキャリアがドレイン近くの強い電界で加速されると、高いエネルギーをもったホットキャリアになり、一部がゲート絶縁膜に注入されたり界面準位をつくったりします。その結果、しきい値電圧や駆動電流が変化します。LDD構造や電源電圧の低減で抑えます。

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