신뢰성

드레인 근처의 높은 전계로 가속된 캐리어가 게이트 절연막에 주입되어 트랜지스터의 특성이 열화되는 현상은?

  1. ANBTI
  2. B핫 캐리어 주입(HCI)
  3. C래치업
정답과 해설 보기

정답: B. 핫 캐리어 주입(HCI)

채널을 흐르는 캐리어가 드레인 근처의 강한 전계로 가속되면 높은 에너지를 가진 핫 캐리어가 되어, 일부가 게이트 절연막에 주입되거나 계면 준위를 만듭니다. 그 결과 문턱 전압이나 구동 전류가 변합니다. 드레인 끝의 불순물 농도를 낮춰 전계를 완화하는 LDD 구조나 전원 전압의 저감으로 억제합니다. NBTI는 전류가 없어도 일어나는 열화이고, 래치업은 기생 사이리스터의 도통입니다.

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