공정 재료(가스와 케미칼)
n형 불순물 도입에 쓰이는 포스핀(PH3)이나 아르신(AsH3)의 특징으로 올바른 것은 무엇입니까?
- A무해하여 특별한 관리가 필요 없다
- B독성이 매우 강하여 엄격한 누출 관리가 필요하다
- C불연성이고 냄새가 없으며 공기 중에 방출해도 안전하다
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정답: B. 독성이 매우 강하여 엄격한 누출 관리가 필요하다
포스핀과 아르신은 허용 농도가 0.05 ppm 이하로 정해질 만큼 독성이 강한 가스입니다. 실린더 캐비닛, 누출 감지기, 긴급 차단밸브, 제해 장치를 조합하여 엄격하게 관리합니다. 누출되어도 밖으로 나오기 어렵도록, 다공질 흡착재에 가스를 흡착시켜 대기압보다 낮은 압력으로 공급하는 용기도 널리 쓰입니다. 불연성이고 무해한 가스가 아니며, 포스핀에는 가연성도 있습니다.