パイロジェニック酸化(水素燃焼酸化)の説明として正しいものはどれか。

正解：A. 水素と酸素を燃焼させて生成した高純度の水蒸気で酸化する、ウェット酸化の方法

パイロジェニック酸化では、炉の入口で水素と酸素を燃焼させて水蒸気をつくり、その水蒸気でシリコンを酸化します。純水を沸騰させる方法に比べて汚染が少なく、水蒸気の量を制御しやすいため、ウェット酸化の方法として広く使われています。