多数のウエハを一度に熱酸化するときに一般的に使われる装置はどれか。

正解：A. 縦型の熱処理炉(拡散炉)

熱酸化や拡散、アニールには、石英の反応管にウエハを100枚程度まとめて入れて加熱する縦型の熱処理炉がよく使われます。均一性が高く、一度に多くのウエハを処理できます。短時間で加熱したい場合は、ランプで1枚ずつ加熱するRTP装置が使われます。