MOSFETのゲート長(マスク上や加工後のゲート電極の長さ)と、実効チャネル長の関係として一般的に正しいものはどれか。

正解：A. 実効チャネル長はゲート長より、ソース・ドレインがゲートの下に横方向に広がった分だけ短い

ソース・ドレインの不純物は、注入や熱処理によってゲート電極の下まで横方向に少し広がります。そのため、実際に電流が流れるチャネルの長さ(実効チャネル長)は、ゲート電極の長さより両側の重なり分だけ短くなります。重なり部分はゲート-ソース・ドレイン間のオーバーラップ容量にもなります。

• A. 正しい。横方向の広がり(オーバーラップ)の分だけ短くなります。
• B. 不純物はゲートの下に入り込むので、実効チャネル長は短くなる方向です。
• C. 横方向の拡散があるため、一般に一致しません。