他の条件を変えずにゲート絶縁膜を厚くすると、nMOSFETのしきい値電圧の大きさは一般にどうなるか。

正解：B. 大きくなる

ゲート絶縁膜を厚くするとゲート容量Coxが小さくなり、同じ空乏層電荷を支えるのに必要なゲート電圧が大きくなります。そのため、しきい値電圧の大きさは大きくなります。入出力回路などで厚い絶縁膜の高耐圧トランジスタを使うと、しきい値電圧も高めになります。

• A. 絶縁膜の厚さだけでしきい値電圧がゼロになることはありません。
• B. 正しい。Coxが小さくなるので、必要なゲート電圧が増えます。
• C. 絶縁膜を薄くするとしきい値電圧は小さくなる方向です。