계측과 분석
바늘 모양으로 가공한 시료의 끝에서 원자를 하나씩 전계로 증발시키고, 그 위치와 종류를 검출하여 도펀트 등의 3차원 원자 분포를 조사하는 분석법은?
- A어톰 프로브 토모그래피
- B광학현미경
- C초음파 현미경
정답과 해설 보기
정답: A. 어톰 프로브 토모그래피
어톰 프로브에서는 FIB로 끝을 100 nm 정도의 바늘 모양으로 가공한 시료에 높은 전압과 펄스를 걸어, 끝의 원자를 하나씩 이온으로 날려 보냅니다. 검출기에 도달한 위치로부터 원래의 위치를, 비행 시간으로부터 질량(원소의 종류)을 구하여 3차원 원자 분포를 재구성합니다. 트랜지스터 속 도펀트의 분포 등을 원자 수준으로 조사할 수 있지만, 검출 효율은 100%가 아닙니다.
- A. 올바릅니다. 원자를 하나씩 날려 보내 3차원 분포를 조사합니다.
- B. 광학현미경으로는 원자 분포가 보이지 않습니다.
- C. 초음파 현미경은 패키지 내부의 박리 등을 조사하는 장비입니다.