계측과 분석
AFM으로 매우 좁은 홈이나 가파른 측벽의 형상을 측정할 때 오차의 원인이 되기 쉬운 것은?
- AAFM은 진공 중에서만 사용할 수 있다
- B탐침 끝의 굵기나 형상이 유한하기 때문에, 측정한 형상에 탐침의 형상이 겹쳐서 나타난다
- CAFM은 표면의 요철을 측정할 수 없다
정답과 해설 보기
정답: B. 탐침 끝의 굵기나 형상이 유한하기 때문에, 측정한 형상에 탐침의 형상이 겹쳐서 나타난다
AFM은 탐침으로 표면을 훑어 형상을 측정하기 때문에, 탐침 끝보다 좁은 홈의 바닥에는 닿지 못하고, 가파른 측벽에서는 탐침의 측면이 먼저 닿습니다. 그 결과 측정한 형상은 실제 형상과 탐침 형상을 겹친 것이 되어, 홈은 얕고 좁게, 선은 굵게 보입니다. 끝이 가는 탐침이나 끝이 옆으로 넓어진 측벽 측정용 탐침을 사용하고, 탐침의 형상을 추정하여 보정하는 해석도 수행합니다.
- A. AFM은 대기 중에서도 사용할 수 있습니다.
- B. 올바릅니다. 탐침의 형상이 측정 결과에 겹칩니다.
- C. AFM은 표면의 요철을 측정하는 장비입니다.